半導(dǎo)體行業(yè)
全球半導(dǎo)體真空泵市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì) 2032 年達(dá) 100.5 億美元,其中半導(dǎo)體領(lǐng)域增速領(lǐng)先,中國(guó)市場(chǎng)規(guī)模 2030 年有望突破 130 億元,占比提升至 42%。3D NAND 存儲(chǔ)、SiC 功率器件等新興技術(shù)推動(dòng)對(duì)大抽速、耐腐蝕性泵的需求。隨著半導(dǎo)體制造向 28nm 以下先進(jìn)制程演進(jìn),無(wú)油干式真空泵憑借零污染、耐腐蝕性強(qiáng)的優(yōu)勢(shì),成為刻蝕、薄膜沉積(CVD/PVD)等核心工藝的首選,。