1.在半導(dǎo)體制造過程中,很多工藝需要在真空環(huán)境下,如薄膜沉積、離子注入等,因此需要真空泵來提供穩(wěn)定的真空環(huán)境。2.蝕刻設(shè)備中用于反應(yīng)離子蝕刻與等離子蝕刻,化學(xué)蝕刻和電化學(xué)蝕刻。3.在沉積設(shè)備中低壓化學(xué)氣相沉積與等離子增強化學(xué)相沉積。4.在離子注入設(shè)備當(dāng)中應(yīng)用于氣體放電離子源與液態(tài)金屬離子源。
真空泵
高效節(jié)能
單級單作用
案例一:某半導(dǎo)體制造公司采用真空泵進(jìn)行生產(chǎn)線改造,生產(chǎn)效率提高了20%以上,能耗降低了40%左右,產(chǎn)品質(zhì)量得到了顯著提升。
案例二:某電子元件制造公司采用真空泵進(jìn)行生產(chǎn),生產(chǎn)環(huán)境潔凈度提高了50%以上,產(chǎn)品合格率提高了30%以上,取得了顯著的經(jīng)濟效益。
經(jīng)驗總結(jié):選用合適的真空泵、合理布局、科學(xué)維護(hù)是提高真空泵在半導(dǎo)體制造中應(yīng)用效果的關(guān)鍵。
太陽能電池制造:太陽能電池制造過程中需要抽取大量氣體和雜質(zhì),真空泵可以提供穩(wěn)定的抽氣能力,保證生產(chǎn)過程的順利進(jìn)行。
集成電路制造:集成電路制造過程中需要高潔凈度和高穩(wěn)定性的環(huán)境,真空泵可以滿足這一需求,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
LED制造:LED制造過程中需要高潔凈度和高穩(wěn)定性的環(huán)境,真空泵可以提供穩(wěn)定的抽氣能力,保證LED芯片的質(zhì)量和穩(wěn)定性。
平板顯示制造:平板顯示制造過程中需要高潔凈度和高均勻性的環(huán)境,真空泵可以滿足這一需求,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。